半导体行业双工位高速取片机
双工位高速取片机:
两个动子上装上取片装置分别向两端 运动。取片升降装置下降、取片、上升、平移、下降、放片、上升、平移回去,再重复以上动作。
产品特征:
传动方式:双动子直线电机
定位精度:0.01mm/300mm
最大速度:2m/s
行程:左右各540mm
加速时间:0.13s